「做科學家，必須把自己的研究與國家的戰略需要聯繫起來，布大局，做大事。」王曦在接受媒體採訪時曾這樣說。
據《南方日報》，8月4日上午，廣東省十三屆人大常委會第二十三次會議經表決通過，決定任命王曦為廣東省人民政府副省長。
科技部官方網站顯示，王曦現任科技部副部長、黨組成員。中共黨員。中共第十九屆中央候補委員。中國科學院上海冶金研究所畢業，研究生學歷，工學博士學位，中國科學院院士，研究員。
據其個人簡歷，王曦於1966年8月出生，上海人，1987年畢業於清華大學，1990年和1993年在中國科學院上海冶金研究所獲得材料物理碩士和博士學位，研究員，博士生導師，2009年當選為中國科學院院士。
2001年7月至2019年4月，王曦在中國科學院上海微系統與信息技術研究所（簡稱：上海微系統所）工作。1994年至2004年歷任上海微系統所副研究員、室副主任、研究員、室主任、所長助理。2004年4月起任上海微系統所黨委副書記兼副所長。2010年7月起任上海微系統所所長。
2019年4月王曦任科技部黨組成員兼中國科學技術協會副主席。2019年5月任科技部副部長、黨組成員兼中國科學技術協會副主席。
據了解，作為中國著名半導體材料學家，王曦帶領團隊製備出了國際最先進水平的SOI晶圓片，解決了中國航天電子(7.840, -0.24, -2.97%)器件急需SOI產品的「有無」問題，還孵化出中國唯一的SOI產業化基地，實現了微電子材料的跨越式發展。
絕緣體上矽（SOI）技術被國際上公認為「二十一世紀的矽集成電路技術」，在低壓、低功耗電路、耐高溫電路、微機械感測器、光電集成等方面具有重要應用，是微電子和光電子領域發展的前沿。
自參加工作以來，王曦一直致力於載能粒子束與固體相互作用物理現象的研究，並將其應用於高端集成電路襯底材料SOI的開發，主持完成了包括國家「863」計劃「超大規模集成電路配套材料」重大專項項目在內的多個國家級項目。
他將研究成果應用於先進電子材料的人工合成，取得了一系列重要創新性研究成果。尤其是在新一代矽基先進電子材料SOI領域，王曦領銜的研究團隊在國內處於最領先地位，他創辦的上海新傲科技股份有限公司成為繼美國、日本和法國後全球第四個最重要的SOI材料研發中心。
2006年王曦主持的「高端矽基SOI材料研究和產業化」項目獲得國家科技進步一等獎，項目研究團隊獲得2007年中國科學院科技成就獎，2008年度「何梁何利基金科學與技術進步獎」。2008年，王曦團隊製備出中國第一片8英寸鍵合SOI晶片，實現了SOI晶片製備技術的重要突破。
在擔任中科院上海微系統所所長期間，王曦還在上海牽頭推進了12英寸集成電路矽片項目。2013年6月，王曦和中芯國際(81.080, -2.92, -3.48%)創始人張汝京博士共同建言，在上海啟動12英寸大矽片的研發。為填補這一產業空白，上海微系統所的協同創新單元—上海新昇半導體科技有限公司於2014年6月成立。2016年，上海新昇拉出國內第一根12英寸高質量晶棒。
