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首部國產高精尖封裝光刻機落地 荷蘭ASML緊急佈局

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首部國產高精尖封裝光刻機落地 荷蘭ASML緊急佈局
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首部國產高精尖封裝光刻機落地 荷蘭ASML緊急佈局

2021年09月24日 11:13 最後更新:11:14

光刻機是芯片製造產線上最核心的設備,全球能夠獨自生產的只有四家企業,分別是荷蘭的ASML、中國的上海微電子,以及日本的尼康、佳能。但是,在中高端光刻領域,比如DUV、EUV光刻機,ASML則是獨一檔的存在,幾乎壟斷了市場。

荷蘭ASML 幾乎壟斷了中高端光刻機市場。

荷蘭ASML 幾乎壟斷了中高端光刻機市場。

由於ASML使用了美國技術,無法向國內市場自由出貨,因此,在我們的芯片國產化道路上,光刻設備壟斷便成了最大攔路虎。換句話來說,想要實現「中國芯」的崛起,那麼我們首先就要實現光刻設備的國產化。

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荷蘭ASML 幾乎壟斷了中高端光刻機市場。

荷蘭ASML 幾乎壟斷了中高端光刻機市場。

上海微電子傳出好消息。

上海微電子傳出好消息。

上海微電子首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地。

上海微電子首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地。

光刻機。

光刻機。

倪光南院士。

倪光南院士。

令人憤慨的是,ASML居然潑來冷水,表示就算把光刻機的設計圖紙給中國,我們也造不出。

不能否認光刻設備技術的研發的確很難,畢竟該設備有約10萬個精密零件,有5000多家全球供應商,可真讓ASML給我們個圖紙試試?它之所以這麼說,主要是擔心國家實現光刻設備自主化後,衝擊到它的市場地位,想讓我們知難而退罷了。

但是,經歷了刻骨銘心的芯片「卡脖子」之痛,國家已徹底認識到了技術設備自主的重要性。何況,現階段國家也別無選擇,光刻設備的國產化不僅要身體力行地去完成,而且還要加快步伐。

令人振奮的是,中科院、清北高校等科研機構紛紛挺身而出,將光刻技術攻關列入緊急任務清單;承擔重任的上海微電子、以及號稱「光刻機第一股」的華卓精科也均加大了研發投入。

上海微電子傳出好消息。

上海微電子傳出好消息。

在這兩年時間里,國內光刻市場不斷傳出著技術破冰的好消息,但也沒想到會來的這麼快,近日,上海微電子傳出了重磅消息,自研的首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地!且已與多家客戶達成銷售協議,首台設備將於年底之前完成交付。

上海微電子首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地。

上海微電子首台國產高精尖封測光刻機已經正式落地。

雖然上海微電子的這台國產光刻機只是用於封測,而並非用於芯片製造環節,但這並不能抹掉其帶來的重大轉折意義。要知道,該設備有著高精尖的工藝,達到了國際頂尖水準,徹底彌補了國內封裝領域的短板。

光刻機。

光刻機。

換個角度來看,上海微電子既然已經能量產高精尖封裝光刻設備,那麼用於製造環節的。且多次傳出突破消息的國產28nm光刻機還遠嗎?

國產光刻領域這麼快的推進速度,讓荷蘭光刻巨頭ASML始料未及,為了在將來與國產光刻機的競爭中獲得先發優勢,ASML緊急展開了佈局。

首先,ASML擴大在中國市場研發中心的工程師團隊規模,增設技術服務站點、加大與國產芯片企業的合作力度。

ASML這一舉措,給它帶來了巨大的利益。據公開資料顯示,今年ASML向國內市場傾銷了約40台光刻設備,重點是,這些都是即將淘汰的壓箱底舊貨ASML不僅達到了快速變現的目的,而且還有效地擠壓了國內中低端光刻廠商的發展空間。

其次,外媒報道,ASML做出了擴產決定,計劃在年底之前再交付25台EUV,明年計劃製造55台,2023年目標是60台。

值得強調的是,從2015年EUV設備研發出至今,ASML總計也才出貨了102台,如今卻突然計劃要三年出貨140台。或許是因為全球缺芯導致EUV設備的需求量暴漲,但很大一部分原因來自於市場格局的變化。

中國是全球最大的半導體芯片消費市場,ASML如果繼續無法自由出貨,那麼一旦我們實現了高精度光刻設備的國產化,它就將被徹底失去中高端光刻領域獨一無二的市場地位。

若想改變這一局面,ASML需要把稀缺的EUV普及化,讓老美的限制失去意義。而且ASML的新一代EUV也已研發完成,預計2023年投產,按照美制定的出口規則,屆時,上一代EUV就不再是最先進的設備,將可以自由出貨。

總體來看,ASML不忍捨棄國內市場是真,但不想看到我們實現高精尖光刻設備的自主化也不假。但對於國產企業而言,即便ASML真的做到了EUV的自由出貨,國家也絕對不能放棄自主研發的腳步。

倪光南院士。

倪光南院士。

正如倪光南院士所說:核心技術是買不來、換不來、求不來的若想徹底避免「卡脖子」,就要做到真正的「手中有糧、心中不慌」。




毛拍手

** 博客文章文責自負,不代表本公司立場 **

中國嫦娥六號月球探測器成功發射,央視對此次發射進行直播報道,更邀來相關專家為民眾介紹和科普相關知識。期間一名專家無意間講的一句話卻惹出小風波。網絡再度掀起「美國阿波羅登月計劃造假」的熱門話題,不少網民直指「阿波羅登月就是一場驚天騙局」,對此中國科協為大家釐清來龍去脈,再次闢謠。

嫦娥六號成功登月(央視圖片)

嫦娥六號成功登月(央視圖片)

5月3日,嫦娥六號月球探測器成功登月,將執行人類首次月背取樣返回任務。據央視直播現場畫面,在火箭已經發射成功,飛行時間2550秒左右時,主持人與探月工程三期副總設計師裴照宇就本次任務落點選擇問題進行了交流討論。當時,主持人先提到:「嫦娥四號降落在了南極艾特肯盆地,這一次的嫦娥六號從大的範圍來講也是降落在南極艾特肯盆地,但是其實位置還是不一樣的。緊接著,裴照宇說道:「沒有找到那個……阿波羅盆地的那個……」。主持人留意到裴照宇一時還沒有組織好語言,為直播節目的流暢性馬上提出了另一個新話題繼續聊了起來。

節目播出之後,不少網民將航天專家在直播上提到「阿波羅盆地」時不太連貫的表達有了另一種解讀,更有自媒體藉此大肆炒作,一時間「美國阿波羅登月是一場騙局」的謠言四起。對此,中國科協微信公眾號「科學辟謠」對今次風波的來龍去脈進行了梳理和闢謠。

嫦娥六號成功登月(央視圖片)

嫦娥六號成功登月(央視圖片)

「科學辟謠」5月14日刊發中國科技新聞學會太空文化傳播青少年工作委員會委員王君毅的文章稱,主持人和專家的這段對話,本來是直播類節目中常見的情況,但因為裴照宇提到了「沒找到」和「阿波羅」這兩個詞,一些媒體認為發現了「流量密碼」,將這段對話單獨截取出來,並配以《關於南極艾特肯盆地,裴總這樣說:沒找到那個……》這種容易讓人產生聯想的標題,做成短視頻進行大肆傳播。在這些視頻下面的評論區,則出現了大量的認為找到了美國阿波羅登月事件造假證據的評論內容。

王君毅在文章寫道,視頻中提到的「艾特肯盆地」位於月球南極,是被譽為「太陽系內最大的撞擊坑之一」的大型盆地,面積跨越月球正反兩面,在這個大型盆地內還遍布著很多大小不一的盆地,視頻中備受爭議的「阿波羅盆地」就是其中較大的一個,它位於月球背面。「阿波羅盆地」這個名字里雖然也有「阿波羅」,但和阿波羅登月任務落點完全是兩回事。這是為了紀念阿波羅登月任務而命名的,並非任何一次阿波羅登月任務的落點。

美國阿波羅登月(網上圖片)

美國阿波羅登月(網上圖片)

王君毅表示,關於阿波羅登月任務,有大量的音視頻資料,最重要的是有大量的月壤和月岩樣本被帶回了地球,全球多個國家均有基於阿波羅登月任務所帶回的月壤、月岩樣本取得的研究成果。而在2012年時,嫦娥二號有效載荷分系統主任設計師趙葆常也提到,嫦娥二號傳回的圖像可以看到阿波羅11號登月的遺跡。

在王君毅看來,大多數人質疑阿波羅號登月是出於對國家的樸素感情,不過還是要呼籲大家保持理性和獨立思考能力,實事求是。而那些故意曲解航天專家意思,利用老百姓樸素情感,剪輯、拼湊內容來「賺流量」、「博眼球」的媒體,實在不應該,也奉勸這類媒體該收收「流量為王」的心了。

月球表面(Getty示意圖)

月球表面(Getty示意圖)

據中國國家航天局官網介紹,1969年7月16日,阿波羅11號飛船出發,7月20日登月艙降落在月面上。經過近7小時的等待,尼·阿姆斯特朗(港譯:尼爾·杭思朗)於美國東部時間20日22時56分20秒踏上月面,並說出了那句永載史冊的名言:「對一個人來說這是一小步,但對人類來說是一次飛躍。」隨後,另一名太空員艾·奧爾德林也踏上月面。到1972年12月,又有5艘阿波羅號飛船將10人送上月面。他們在月面上進行了許多科學考察和實驗活動,共帶回月球物質300多千克。

事實上,由中國科協主辦的「科普中國網」此前也曾多次辟謠阿波羅登月造假的傳聞。

科普中國網2018年曾刊文稱,人們對阿波羅登月真實性的質疑,主要有四點依據:

首先,月球表面是真空的,為什麼宇航員把美國國旗插在月球表面時,國旗在迎風飄動?

第二,月球上只有一個來自太陽的光源,為什麼有些宇航員擁有兩個影子?

第三,高矮不同的宇航員,其投影卻差不多高,說明有人工光源干預;

第四,阿姆斯特朗在月球上的腳印非常清晰,可能是人工偽造的。

關於這四點質疑,「嫦娥之父」歐陽自遠院士逐一進行了駁斥。

他提到國旗晃動是慣性造成的,當宇航員把國旗插上月球表面時,由於自身重心不穩帶動旗幟晃動,而月球上不像地球一樣有空氣阻力,所以晃動會持續很長時間;

重影問題是由著陸器造成的,金屬材料制成的著陸器擁有多個折射面,不同角度反射了太陽光,由此造成重影;

高矮問題是由高低不平的月球表面造成的,如果影子「經過」一個大坑,在照片上看起來影子就「變短」了;

鞋印問題是由於月球表面多為粉末狀礦物,粗糙的粉末表面摩擦系數大,一腳踩下去,細碎的粉末很容易粘在一起,使腳印顯得特別清晰。

此後,科普中國網又多次刊文,針對阿波羅登月造假傳聞的觀點逐一作出科學解釋:

在科普中國網2023年播出的一期科普視頻中,月球及火星探測器副總設計師賈陽表示20多年前就曾聽到過類似的質疑,他從更為宏觀的層面作了一個簡單解釋稱,「一個幾十萬人共同參與的一個項目,其實作假也挺難的,我堅信阿波羅登月是真的。」,「科技界現在好像都懶得回答這個問題了……他們(質疑者)提出了很多跟我們日常一些現象不一致的情況,都可以進行科學的解釋,而且我們已經解釋多次了,包括腳印的問題、多個影子的問題等。」

中國空間探測技術首席科學傳播專家龐之浩也表示,「他們(阿波羅計劃)探測的大量成果,只有在月球上才能夠取得,而且采回來300多公斤的東西(月球岩石樣本),都是月球上的東西。」他還調侃稱,「造假比造真還難。」

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