Qnity電子公司今日宣布,已安裝KLA的Surfscan SP7 XP未圖案晶圓缺陷檢測系統。這次安裝是公司持續投資先進半導體材料創新的一部分,旨在加強Qnity開發及製造尖端材料的能力,並深化過程洞察力,以支援客戶的技術發展藍圖。
Qnity半導體技術副總裁Julia Woertink指出:「開發用於先進半導體技術的突破性材料,需要在開發及製造的每個階段,深入了解其性能及質量。透過加強我們對質量的理解及控制,我們可以協助客戶更有信心及更快地推進至更先進的節點。」
KLA總經理James Seale(左)、Qnity晶圓廠設備經理Besnik Cumani及光刻技術副總裁兼總經理Drew Chambers,在Qnity位於麻省馬爾堡的新英格蘭製造及技術中心晶圓廠內合照。他們身處KLA的Surfscan SP7XP未圖案晶圓缺陷檢測系統安裝現場。該系統支援Qnity對先進半導體材料創新的持續投資。 AP圖片
Surfscan SP7 XP系統安裝於Qnity位於麻省馬爾堡的新英格蘭製造及技術中心。這是公司更廣泛投資策略的一部分,旨在支援其全球網絡的先進半導體創新。該系統擴展了Qnity的特性分析及過程控制能力生態系統,協助團隊在材料開發及整合的早期階段,識別變異來源。
在先進節點中,即使是微小缺陷亦可能影響設備性能。因此,改進對產品及過程變異的理解,有助於Qnity及其客戶加快過程學習及規模化。Qnity這次最新投資,支援先進光刻材料的開發及可靠製造,包括用於氟化氬光刻的Epic光刻膠系列、用於極紫外光刻的Eon光刻膠系列,以及相關的底層材料。
KLA總經理James Seale表示:「Qnity對Surfscan SP7 XP系統的投資,反映了半導體價值鏈中對特性分析及過程控制日益增長的重視。過程認證、監測及缺陷特性分析,是先進半導體應用所需質量及可靠性的關鍵推動因素。」
Qnity是半導體價值鏈中的領先技術供應商,為人工智能、高效能運算及先進連接提供支援。從半導體晶片製造的突破性解決方案,到複雜電子系統內的高速傳輸,Qnity的高性能材料及整合專業知識,令未來的技術成為可能。
(美聯社)