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JEOL推HAXIS低角度離子研磨掃描電鏡 助半導體故障分析

商業事

JEOL推HAXIS低角度離子研磨掃描電鏡 助半導體故障分析
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JEOL推HAXIS低角度離子研磨掃描電鏡 助半導體故障分析

2026年10月05日 15:30 最後更新:15:43

JEOL株式會社(社長兼行政總裁大井泉)公布,已研發全新低角度離子研磨掃描電子顯微鏡HAXIS,並將於2026年10月5日開始發售。

隨着先進半導體器件結構持續微縮及變得更複雜,利用納米機械手接觸及測量微米級電路變得困難。此外,探測造成的接觸可能會影響分析目標,因此需要新的故障分析方法。

HAXIS低角度離子研磨掃描電子顯微鏡 AP圖片

HAXIS低角度離子研磨掃描電子顯微鏡 AP圖片

JEOL已對被動電壓對比(PVC)檢測技術進行長期研究,並透過改進檢測器及樣本製備技術,建立穩定、高度可重現的PVC觀察方法。

HAXIS是JEOL結合上述技術的全新半導體故障分析平台。即使是先進半導體,亦能實現清晰及高度可重現的PVC觀察。透過在最大限度減少加工損壞及污染影響下,視覺檢測電氣異常,可有效識別缺陷位置並確定原因。使用惰性氣體氬(Ar),確保表面質量穩定並降低運行成本。

PVC觀察的質量,會受分層剝離後樣本的表面狀況顯著影響。HAXIS採用獨特的低角度離子研磨(LIM)分層剝離技術,利用氬離子束創建平坦表面,同時最大限度減少對樣本表面的損壞。這使HAXIS即使在先進器件中,亦能實現清晰及高度可重現的PVC觀察,同時保留結構及電位資訊。

半導體故障分析涉及多個步驟,包括缺陷定位、物理分析及根本原因調查。隨着器件複雜性增加,縮短從故障檢測到可操作結果的周轉時間變得愈來愈關鍵。

HAXIS透過將LIM分層剝離與掃描電子顯微鏡(SEM)成像及被動電壓對比(PVC)分析結合,引入新的故障定位方法。這種結合工作流程可快速及高度準確地識別故障位置,支援QTAT(快速周轉時間)故障分析,並加速從電氣故障檢測過渡到物理分析及根本原因識別。

銷售目標為每年15部。

(美聯社)

美國頂尖機械承辦商ACCO工程系統(ACCO),已於其位於亞利桑那州皮奧里亞的機械管道預製設施內,增設一個高純度工藝管道預製工場。

這次增設令ACCO成為亞利桑那州首屈一指的一站式供應商,負責州內商用及工業暖通空調、水管及工藝系統的設計、預製、安裝、維護及維修。這次投資支持ACCO在美國西南部持續增長,並應對大型複雜工業項目對專業機械及工藝管道系統日益增長的需求。

軌道焊接在ACCO工程系統位於亞利桑那州皮奧里亞的新高純度工藝管道預製工場內進行。 AP圖片

軌道焊接在ACCO工程系統位於亞利桑那州皮奧里亞的新高純度工藝管道預製工場內進行。 AP圖片

ACCO位於皮奧里亞的預製設施自2025年啟用以來,已為聯合協會(UA)469分會創造超130個職位,預計隨著引入這些高純度產品,每班將額外增加15至20個專業技術職位。

ACCO的皮奧里亞設施佔地95,000平方呎,包括新增的10,500平方呎高純度環境,將支持半導體及生物製藥行業的數據中心及製造設施建設。在這些設施中,微觀雜質可能導致災難性系統故障、經濟損失及安全風險。

ACCO工程系統位於亞利桑那州皮奧里亞的新工藝管道預製工場內的潔淨室預製空間。 AP圖片

ACCO工程系統位於亞利桑那州皮奧里亞的新工藝管道預製工場內的潔淨室預製空間。 AP圖片

新工場設有專門區域,用於物料接收、非分類潔淨管道預製及機架組裝,並設有國際標準化組織(ISO)5級(100級)潔淨室連前廳、ISO 7級(10,000級)潔淨室連獨立前廳,以及俯瞰潔淨室運作的觀景走廊。

高純度區域利用15個專業工作站,將生產軌道焊接及TIG焊接不銹鋼管道,以及最多四個熔接PVDF塑膠管道工作站。這次增設補充了設施現有的碳鋼、銅及鑄鐵管道生產,以及多種結構鋼組件,包括模組化滑橇及機架組件。

新工場區域具備以下能力:

這次增設結合ACCO位於加州科默斯、聖利安德羅及瓦卡維爾,以及愛達荷州博伊西及科羅拉多州科羅拉多泉的額外工場,顯著提升其整體工藝管道產品供應。

ACCO工程系統過去超90年來不斷發展,成為美國最大及最有經驗的機械承辦公司之一。

ACCO最初專注於暖通空調,現已發展出行業領先的水管、工藝管道、鈑金、滑橇製造、工業管道及樓宇自動化控制能力,並設有強大的設施服務團隊,專注於商用及工業暖通空調及水管系統的維護、服務及維修。ACCO及其附屬公司在商業辦公室、醫療保健、零售、酒店、科學及科技行業,於卓越設計、價值工程及精湛工藝方面建立了聲譽,並在所有垂直市場承接各種規模的項目。

(美聯社)

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